局域氧化相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

局域氧化相关论文

基于金纳米粒子掩模的硅表面纳米结构加工

利用金溶胶纳米粒子为掩模,结合轻敲模式原子力显微镜(TM-AFM)的局域氧化技术和化学湿法腐蚀,对Si表面进行纳米尺度的结构加工,得......

期刊

原子力显微镜物理屏蔽效应自组装金纳米粒子局域氧化硅纳米结构加工掩模 atomic force microscope (AFM) gold nan

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