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局部双轴应变相关论文
适于PMOSFET的局部双轴压应变Si0.8Ge0.2的生长
通过控制局部双轴压应变SiGe材料的缺陷、组分与厚度,设置了多晶Si侧壁与Si缓冲层的特别几何结构,采用固态源分子束外延MBE设备生长......
期刊
局部双轴应变
应变锗硅
特别几何结构
材料生长
local biaxial strain
strained SiGe
special geometry st
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