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MoNb薄膜直流磁控溅射制备及性能研究
以Mo-10%Nb(10%为粒子数分数)合金为靶材,采用直流磁控溅射法在钠钙玻璃基板上制备了MoNb薄膜。采用台阶仪、四探针电阻仪和AFM分别......
期刊
直流磁控溅射
MoNb薄膜
沉积速率
电阻率
功率密度
工艺气压
衬底温度
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