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平行板电容耦合相关论文
氩气在电容耦合放电中特性参数的数值模拟研究
采用一维流体模型,针对平行板电容耦合放电结构,研究了放电的参数特性.通过数值计算得到了氩气压强为1torr,电压为1~2kV,放电稳......
会议
氩气
平行板电容耦合
放电结构
特性参数
电子数密度
温度分布
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数值计算
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