应变硅MOSFET相关论文
随着器件尺寸的不断减小,按比例缩小技术将逐渐接近于其物理极限,并受到经济成本不断增加的制约,所以其实际效益呈持续下降的趋势......
应变硅材料、结构、器件是探索后硅CMOS时代新型超高速低功耗集成电路最有发展前景的技术之一,本论文对双轴应变硅材料和MOS器件制......
