开关电容检测相关论文
主动光学技术作为一种波面校正技术,可以解决天文望远镜中重力和温度等因素引起的变形,而子镜之间微小位移的精密测量则对主动光学......
微加速度计在MEMS传感器中最具代表性的意义。其中,扭摆式微加速度计因其具有差分检测的特点被广泛关注。蝶翼式微加速度计采用“......
