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形变约束氧化相关论文
硅微通道列阵厚层氧化技术的研究
近年来以硅为原材料制作先进的微通道板成为国内研究的热点,相比传统微通道板,硅微通道板具有孔径更小,噪声因子更小,增益更高,寿......
学位
硅微通道列阵
厚层氧化
热应力
形变约束氧化
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