微变形镜相关论文
绝缘体上硅(SOI)提供了一种 “Si/SiO2/Si”三层结构,采用深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺,利用其中的二氧化硅绝缘层作为刻蚀自停止层......
介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。......
以MEMS微变形镜驱动方式的选取为出发点，从光学特性和力学特性两方面对MEMS微变形镜进行分析，从中得出相关结构参数对微变形镜性能的......
基于MEMS技术的微变形镜以其体积小、成本及功耗低、驱动电压小、响应速度快、性能稳定等显著优点在自适应光学领域具有广阔的应用......
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表......
随着基于硅微加工技术的微机电(MEMS)技术的发展,搭建低成本的自适应光学系统以校正激光束畸变成为可能.首先根据模态耦合理论分析......
首先根据模态耦合理论分析了热畸变对光束质量的影响,并用数值方法得到理想基模和畸变基模耦合幅度与泽尼克畸变之间的关系图。然......
大功率激光器中由增益介质热畸变产生热透镜效应，导致激光器的性能下降。采用基于MEMS技术加工的微变形反射镜作为激光器谐振腔的一......
针对基于微型机电系统技术的分立式微变形镜，从镜面面形特点出发分析了方形和蜂窝形阵列变形镜适配能力，并利用ZEMAX软件建立畸变波......
为提高在微变形镜应用中静电微致动器的冲程，设计并讨论了一种基于双端固定梁为上电极、曲面电极为下电极的异面微致动器。利用Rayl......
推导出热畸变与微变形镜镜面形变量及反射镜驱动单元上电压的关系，建立了补偿激光器腔内畸变的自适应光学系统试验平台．试验结果表明......
采用Fox-Li迭代方法，对畸变相差以Zernike多项式展开，计算了不同菲涅耳数的谐振腔在畸变发生时的低阶输出模式，分析了激光器谐振腔内......
在很多高功率的激光器中,由于热效应的缘故会导致激光器的光束质量大幅下降。为了改善激光光束的动态畸变,自适应光学是一种有效的......
研究制备了一种压电厚膜微变形镜，微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动．以镜面冲程与工作频带宽为目标，对......
利用实验室自主研发的集成设计平台,搭建了分立活塞式MEMS微变形镜的系统级行为模型,并对其有效性和准确性进行了验证;在此基础上......
自适应光学系统由波前传感器、波前重构器和波前校正器组成，能够实时动态校正大气湍流等造成的波前畸变。采用微机械表面工艺制作的......
微型自适应光学系统在天文观测、激光武器和现代医学高分辨率成像等领域有着重要的应用前景,基于MEMS技术的微变形镜是微型自适应......
微变形反射镜(MEMS-DMs)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。对微变形镜波前校正原理进行了分析,设计了基于自适应光学系统的......
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自适应光学系统主要用于校正由大气湍流等引起的波前畸变,经过半个多世纪的发展,自适应光学系统已经应用到了许多领域。传统自适应......
随着MEMS(微机电系统)技术的高速发展,MEMS器件对驱动器材料的结构和性能有着越来越高的要求。MEMS压电驱动器由于体积小、速度快......
采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比两方面比较了四种不同单元排列方式的微变形镜.结果表明方形与砖形排......
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