微图形刻蚀相关论文
薄膜材料的热释电性能衣基在红外探测领域的应用,近年来一直是国际上材料研究的热点之一.该文围绕这一方向,从理论和实验两个方面,......
分析了BST薄膜内的成分不均匀现象,BST溶胶质量的好坏是造成BST薄膜内成分起伏的原因之一.通过抑制BST溶胶的水解,BST薄膜的晶粒大......
