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微小区域温度分布均匀化相关论文
单片OEICs的激光微细加工技术研究
单片光电集成器件(OEICs)是利用光电子技术和微电子技术将光电子器件和微电子器件集成到同一衬底而形成的新型器件,可完成光发射、......
学位
单片光电集成
激光微细加工
微小区域温度测量
热致破坏
微小区域温度分布均匀化
对准技术
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