微振动马达相关硕士博士期刊学术论文

研制了一种可在低电压下工作的新型无阀微泵，该微泵利用有机玻璃（PMMA）制作泵腔，采用了扩散口／喷口的结构，以PDMS作为振动膜，利用微振动马......