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微晶粒尺寸相关论文
微结构参数对多孔硅层热绝缘性能的影响
研究了多孔硅层厚度,孔隙率以及多孔硅中微晶粒尺寸三个微结构参数对其热绝缘性的影响机制.实验选用p^+,p^-两种掺杂浓度的硅片基底,采......
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多孔硅
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