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微机械(MEMS)陀螺相关论文
采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案
提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质......
期刊
微机械(MEMS)陀螺
驱动控制方案
参量激励
恒谐振频率驱动
三角形栅极电容
MEMS gyroscopedrive-mode controlparametr
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