微机械梳状驱动相关硕士博士期刊学术论文

定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源，主要有微机械结构的Ｂｒｏｗｎｉａｎ噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等......