微梁谐振器相关论文
微机械谐振器件是近年来出现的新型谐振器件。品质因数是这类器件的核心参数。品质因数的物理意义是振动器件的总能量除以一个周期......
微梁谐振器是微机械行业的重要组成部件,微电子封装后微梁与基体之间存在着一层气体薄膜。由于气体薄膜的尺度小且不能自由膨胀和......
本文研究了一类双极板静电驱动两端固支微梁谐振器.考虑中性面拉伸和厚度形态误差,建立了微谐振器连续体模型.厚度形态误差通过设......
