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微法布里-泊罗腔相关论文
微F-P腔可调谐滤波器的研究与制备
基于MEMS加工工艺制作的微Fabry-Perot可调谐滤波器在超光谱成像、密集波分复用的光通信系统中有广泛的应用前景。它与其他可调谐......
学位
微光电机系统
微法布里-泊罗腔
可调谐滤波器阵列
表面工艺
有限元分析
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