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设计了两种具有不同参数的光刻掩膜版，利用光刻技术制备了两种微米级双层复合结构。研究了曝光能量对凹形缺口深度的影响，同时采用时......
复杂三维微纳结构广泛应用于微机电系统、微流控芯片、微型光学元件、微型传感器等领域。传统的微纳加工方式成本高、耗时长,且无......
热管凭借高传热效率、高稳定性、长寿命和低成本等优势已经成为解决高性能微电子器件散热难题的主要方案。然而，日益兴起的柔性可穿......
表面功能结构是在物体表面加工出不同形貌、不同尺度且具有特定功能的结构，其制造有别于传统机械加工。表面功能结构种类繁多、性能......
激光诱发前向转印技术，作为一种微加工手段，具有制备微小结构的能力，目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布激光脉冲......
本文采用Mo、WTi90-Au和TiW90-Au三种不同的金属薄膜作为玻璃深槽腐蚀的掩蔽层,研究不同掩蔽薄膜对玻璃腐蚀的横纵腐蚀比,并通过光......
表面微沟槽等结构能够限制航空器壁面低速区小涡流生成和猝发的相关雷诺应力,从而降低摩擦阻力,而且该方法简单易行、不需额外增加......
本文介绍计算机自动生成微结构制造流程的技术。微结构器件的种类繁多，不同器件的加工特点都不相同。即以中等复杂程度的CMOS结构而......
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本文介绍了国外新出现的微结构制造技术--软光刻技术,它提供了一种方便的、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法.讨论......
本文介绍一种微结构描述语言.借助于这种描述语言,包括集成电路、MEMS等在内的各类微、纳尺寸的器件,都能够得到描述并借此进入微......
随着微机电系统（MEMS）和微电子技术的不断发展，高深宽比的微槽结构也受到越来越多的重视，成为重要的研究课题。传统的微细加工技术不能......
