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微结构振动相关论文

离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应

主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550℃，间隔......

期刊

Ta2O5薄膜热处理光学常数禁带宽度微结构振动 Ta2O5 thin film annealing optical constants band gap

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