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徽电子机械技术相关论文

一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作

提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计.该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像,其核心部件是一个基于微电子......

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徽电子机械技术法布里-泊罗微腔红外探测器列阵噪声等效温差光读出热成像机械-光灵敏度热-机械灵敏度 micro-electro-mechanical s

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