悬空单壁碳纳米管阵列相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

悬空单壁碳纳米管阵列相关论文

基于单壁碳纳米管阵列的力敏传感器

利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用......

期刊

化学气相沉积悬空单壁碳纳米管阵列应变传感微纳传感器件 Chemical vapor deposition Suspended single-walled

看过本文同时还关注