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悬臂沉积生长现象相关论文
直流磁控溅射磁性γ'-Fe4N膜生长机理研究
采用直流磁控溅射法研究了磁控溅射沉积氮化铁薄膜的生长机制, 并归属了其生长普适类型. 结果表明, 磁控溅射法生长的薄膜表面具有......
期刊
直流磁控溅射法
氮化铁薄膜
生长机制
生长普适类型
自仿射分形特性
磁性
悬臂沉积生长现象
?Fe4N
Growth universality class
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