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扫描式哈特曼光阑相关论文

扫描型哈特曼检测装置研究

在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检......

期刊

光学检测哈特曼检验法扫描式哈特曼光阑非球面准直物镜球差波像差能量集中度 Optical testing Hartmann test Scanning

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