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给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,......
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅......
对MEMS光开关的悬臂驱动结构进行了设计，考虑到采用湿法腐蚀技术制作的微反射镜与设计尺寸偏差较大，会对光开关的性能产生一定影响，提......
针对扭臂模锻成形过程,采用三维刚塑性有限元法进行了数值模拟,分析了金属的塑性变形行为,对可能产生的缺陷进行预测,给出了等效应......
采用气缸推动扭臂带动制动盘转动的方式,基于数据采集与控制系统设计了制动器静扭强度检测系统,实现制动器静扭强度的检测。使用电......
主要介绍了深圳5号线抗侧滚扭力杆组装、拆卸工装的结构组成，以及组装抗侧滚扭力杆组件和拆卸抗侧滚扭力杆组件的工装使用方法和工......
从扭臂式微驱动器模型出发，分析了器件在静电驱动条件下pull—in现象的产生条件，并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pu......
