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介绍用于亚半微米分步重复投影曝光机的ＰＳＤ调焦调平、激光干涉调信调平、多点高度测量传感和单光路多点检测等逐场调焦调平技术，较详细......
<正> 光学曝光技术在八十年代得到了飞速发展,它已成为半导体微细加工极为重要的手段。光学微细加工技术的大发展,促进了半导体集......
