抛光硅片:超大规模集成电路相关硕士博士期刊学术论文

综述了清洗液的组成、特点、清洗机理、对硅片表面质量的影响以及清洗技术和理论的发展：着重指出了，改进的ＲＣＡ１对颗粒度、微粗糙度和金属......