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接触孔形貌相关论文
TEOS的应用对接触电阻的稳定性问题研究
为了解决因TEOS 的应用导致接触电阻稳定性变差的问题,对接触电阻的测试数据及曲线进行分析,初步确定调查研究方向,然后分别对接触......
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接触电阻
TEOS膜
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湿法腐蚀
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