接触定位式激光干涉仪相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

接触定位式激光干涉仪相关论文

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量，空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响......

期刊

不确定度量块测量量块干涉仪接触定位式激光干涉仪 Uncertainty Gauge block measurement Interferometer

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