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掩膜结构相关论文
金属材料ICP深刻蚀基础研究
在目前的MEMS加工工艺中,感应耦合等离子体(ICP)深刻蚀工艺是一项独具特色并且具有广泛应用前景的工艺技术。随着MEMS技术在更多的......
学位
感应耦合等离子体
深刻蚀工艺
体金属材料
最大离子边界角
掩膜结构
两次曝光
基于复合掩膜的喷砂微加工工艺研究
相对于传统的玻璃微加工方法,玻璃喷砂微细加工工艺由于相对刻蚀效率高、成本低等优点,越来越受到重视。但是由于各种技术难题,喷砂微......
学位
喷砂刻蚀
掩膜结构
玻璃加工
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