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掺杂非晶硅相关论文
掺稀土元素钇的n-型a-Si:H 薄膜
本文报导了将稀土元素钇(Y)掺入非晶硅中的实验结果。在含有氢气的氩气中由射频溅射获得了掺钇的α—Si:H 薄膜,热探针测试表明样......
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n/p型掺杂非晶硅薄膜工艺优化研究
掺杂层与硅片衬底形成发射极和后背场,掺杂层薄膜质量是影响高效率太阳电池的重要因素之一。以载玻片为衬底沉积掺杂薄膜层后样品......
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