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掺锆杂化薄膜相关论文
掺锆杂化薄膜上分布反馈结构的软刻蚀法制备研究
阐述了一种在掺锆杂化薄膜上获得分布反馈结构的软刻蚀制备方法,该薄膜采用可紫外光交联的溶胶凝胶(sol-gel)法制得。采用全息双光......
期刊
掺锆杂化薄膜
分布反馈
软刻蚀技术
聚二甲基硅氧烷
Zirconia-doped sol-gel film
distributed feedback
soft
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