散射度量相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

散射度量相关论文

微扰方法在衍射光栅分析中的应用

伴随着科技发展的日新月异,半导体产业在我国国民经济中的地位渐渐凸显,近年来随着智能手机,移动互联网和大数据的使用使得半导体......

学位

光栅微扰法衍射 RCWA

周期结构的衍射模拟算法及其应用研究

散射度量是半导体微电子制造领域中工艺过程控制与关键尺寸(CD)测量的重要技术手段,它广泛应用于微电子制造领域。根据2011年国际......

学位

散射度量严格耦合波分析层吸收法法向矢量法关键尺寸

看过本文同时还关注