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无损纳米结构相关论文
基于定位氧化掩膜诱导选择性刻蚀的单晶硅表面无损结构加工研究
单晶硅具有优良的机械、物理和化学性能,因此常常作为半导体微纳加工的重要材料,用来制造太阳能电池、大规模集成电路和半导体相关......
学位
阳极氧化
选择性刻蚀
定位加工
无损纳米结构
扫描探针显微镜
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