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定晶向硅晶体电火花多次切割技术研究
单晶硅在应用时往往都需要沿着特定晶向的表面,例如衍射晶体的使用,能够实现对原始光束的单色化,是中子散射谱仪、X射线衍射谱仪等......
学位
单晶硅
电火花线切割
定晶向切割
表面质量
多次切割
晶向精度
高晶向精度的单晶硅定晶向放电切割进电特性及工艺研究
定晶向硅片具有特定方向的晶面,可以利用光的衍射来实现对原始光束的单色化,是中子散射谱仪、衍射谱仪等设备的核心部件。硅材料硬度......
学位
单晶硅
定晶向切割
电火花线切割
接触电阻
晶向精度
表面形状缺陷
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