栅形貌相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

栅形貌相关论文

用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌

本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序，并且借助扫描电子显微镜的照......

会议

衍射效率光谱分布多层介质膜光栅扫描电子显微镜特征谱线输入参数曝光时间计算分布曲线方法栅形貌照片判据拟合程序

0.1~0.15um T型栅工艺研究及应用

制作0.1~0.15umT型栅,首先是考虑在频率高到一定程度时,如何减小Rgs对器件增益的影响,同时要考虑到负面效应,如栅帽顶大到一定程度......

会议

工艺研究研究课题频率负面效应程度栅形貌响应变制作增益器件

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