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标准互连线性能参数相关论文
纳米CMOS工艺下互连测试结构的设计与实现
集成电路制造技术进入纳米时代后,互连线制造过程中出现的半导体材料和工艺物理特性变异已不是仅靠晶圆厂或掩模厂采用的分辨率增强......
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