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正负胶结合相关论文
MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛 。为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础......
期刊
MEMS
螺线管型
电感器
正负胶结合
加工工艺
SU-8
微加工
s:microelectromechanical system
inductor
SU-8
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