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氢填隙相关论文
磁控溅射ZnO:Al(H)薄膜中的缺陷对电学性能和光学性能的影响机制研究
透明导电氧化物(TCOs)薄膜是把光学透明性能(可见光)和电学高导电性能复合在一体的光电材料。在电学性能方面,透明导电薄膜具有高......
学位
ZnO:Al透明导电薄膜
磁控溅射
电阻率
载流子浓度
迁移率
光学透射率
氧负离子的轰击
氢填隙
晶界吸附物
晶界势垒
氧空位
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