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IGZO-TFT钝化层设计三元复合过孔结构,出现了20%过孔相关不良。本文以CF4/O2为反应气体,采用控制变量法,从功率、气体成分和比例、......
氧化物薄膜晶体管(Oxide TFT)和硅基TFT相比具有迁移率高、制备工艺简单、在可见光波段透明等优点,是很有发展潜力的下一代TFT技术。......