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氧化钽膜相关论文
Ta2O5膜压电效应研究
本文报道了新型Ta_2O_5压电膜的制备方法及其工艺技术。用×轴垂直取向性Ta_2O_5压电膜制作出了声表面波(SAW)延迟线及滤波器......
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氧化钽膜
压电效应
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piezoelectric Ta2O5 films
SAW transducer
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