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氧等离子体法相关论文

氧等离子体处理聚硅烷涂层制备二氧化硅薄膜

用氧等离子体法在低温下已将自合成的聚硅烷涂层成功地转变为二氧化硅薄膜.红外光谱分析表明薄膜的Si-O伸缩振动特征峰为1075cm-1,......

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二氧化硅薄膜制备方法氧等离子体法聚硅烷涂层电子结合能 Si-O伸缩振动 O2plasma polysilane coating thin SiO2 fi

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