氩离子束镀膜相关硕士博士期刊学术论文

本研究利用氩离子束镀膜技术和标准IC制造工艺在硅衬底上淀积一层钛铌酸锶钡薄膜，从而制备形成平面型薄膜光敏电阻器。测试和分析了......