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氮化硅态的硅相关论文
电离辐射对Si3N4/SiO2/Si双界面系统的作用
采用氩离子刻蚀XPS(X光激发电子能谱)分析对Si3N4/SiO2/Si双界面系统进行了电离辐照剖面分析。实验结果表明:电离辐照能将SiO2和Si构成......
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Si in the Si3N4 state
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