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氮化铝镓沟道相关论文
基于超晶格结构的AlGaN沟道材料生长及器件制作研究
近些年来,GaN基异质结材料作为超高频大功率器件的核心材料其结构设计,器件制作,工艺优化被广泛研究。一直以来提高功率密度缩小器件......
学位
氮化铝镓沟道
材料生长
超晶格结构
高电子迁移率晶体管
击穿电压
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