氮掺杂氮杂质状态相关硕士博士期刊学术论文

本文采用EA-CVD方法沉积金刚石膜,系统地研究了甲烷流量和热丝排布等工艺参数对金刚石膜生长特性的影响,金刚石膜中的热应力及裂纹......