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大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究
近年来,随着信息电子技术、光电技术及半导体照明技术的迅速发展,超光滑平面元器件需求越来越大,这些表面要求达到亚纳米级表面粗......
学位
磁流变抛光
超光滑平面
大抛光模
永久磁轭
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