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沟道电场控制相关论文

用CF4等离子体处理来剪裁AlGaN／GaN异质结能带

自洽求解薛定谔方程和泊松方程研究了CF。等离子体处理对AlGaN／GaN异质结能带的影响。证实了强F离子注入和势垒层的腐蚀是导致沟道......

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CF4 等离子体处理能带剪裁 F离子注入和势垒层腐蚀肖特基势垒欧姆接触沟道电场控制电流崩塌 CF4 plasma treatment band t

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