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注入式毁伤实验相关论文
微波低噪声放大器毁伤机理研究和SiC薄膜的外延生长与刻蚀技术研究
本文由两篇构成,第一篇是微波低噪声放大器(LNA)毁伤机理研究,第二篇是SiC薄膜的外延生长与等离子体刻蚀技术研究。由于半导体器件......
学位
半导体器件
集成电路
微波低噪声放大器
注入式毁伤实验
毁伤机理
SiC薄膜
外延生长
等离子体刻蚀
图形刻蚀
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