测量半导体相关硕士博士期刊学术论文

提出一种测量小剂量离子注入样品均匀性的新方法——多探针Ｃ－Ｖ法．研制了相关的硬件和软件．此方法基于以下２个新颖的思想：１）采用多根探针测量......