混合掺杂黑硅材料相关硕士博士期刊学术论文

重掺杂微纳结构硅又称黑硅材料,是一种基于晶体硅进行表面处理的新型硅材料。黑硅的出现主要是为了解决晶体硅在可见-近红外光波段......