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一种内引线键合脱键失效模式及其预防
通过对硅铝丝超声键合机理及键合检验方法的介绍,针对单片集成电路加工过程中到的键合脱键失效模式,详细叙述了分析过程,找出了键合脱......
期刊
半导体集成电路
内引线键合
脱键失效模式
硅铝丝超声键合法
温度烘烤
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